Pressemitteilung von Susanne Biechl

MKS Instruments auf der analytica in München

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München, den 19.03.2014 - MKS Instruments, der weltweit führende Hersteller von Mess- und Regelungssystemen für die Vakuum- und Gasprozesstechnik, stellt vom 1. bis 4. April 2014 auf der analytica, der internationalen Leitmesse für Labortechnik, Analytik und Biotechnologie in München aus. In Halle A2/Stand 138 zeigt das Unternehmen sein umfassendes Portfolio an Produkten für die Analyse und das Handling von Gasen. Erstmals präsentiert MKS Instruments auf der analytica in diesem Jahr seinen Massenflussregler MF1, das Quadrupol- Massenspektrometer Cirrus für Anwendungen in atmosphärischer Umgebung sowie das MultiGas 2030 FTIR, das quantitative und qualitative Messungen von Mischungen aus bis zu 30 Gasen über einen großen dynamischen Bereich im 200ms Takt und bei hohen Temperaturen ermöglicht (z.B. im Bereich der TÜV zertifizierten Emissionsanalyse).

MKS Instruments verfügt über mehr als 50 Jahre Erfahrung in der Mess- und Regeltechnik und über eine hohe Expertise im Bereich hochtechnologischer Anwendungen (z.B. Halbleiterfertigung). Sein umfassendes Know how und seine spezialisierten Geräte bietet das Unternehmen nun auch verstärkt für Anwendungen in der atmosphärischen Gasanalyse an. Auf der diesjährigen analytica stellt MKS Instruments einen Teil seines Angebots vor. Alle Produkte von MKS zeichnen sich durch ihre hohe Präzision, den extrem weiten dynamischen Messbereich, die Reproduzierbarkeit der Messdaten und Nachweisempfindlichkeit auch unter schwierigen Bedingungen aus. Dank ihrer Bauart und den verwendeten Materialien sind sie optimal auf analytische Prozesse - selbst bei hohen Temperaturen und für korrosive Medien - ausgelegt.

MF1 General Purpose Mass Flow Controller und das Gassubstrat GS1

Zum ersten Mal präsentiert MKS Instruments auf der analytica den thermischen Massenflussregler MF1 und das modulare Gashandlingsystem GS1. Der MF1 ermöglicht bei einer extrem kompakten Bauart eine äußerst präzise druckunabhängige Dosierung von Gasen für Durchflussmengen von 0.1 sccm bis zu 20 000 sccm. Anwendung findet er vor allem bei der Erstellung von Gasgemischen im Anlagenbau, etwa bei der plasmagestützten Herstellung dünner Schichten oder in der Labortechnik bei der Gasanalyse. Das Produkt ist überwiegend aus Edelstahl gefertigt, ist mit inerten, reaktiven und den meisten korrosiven Gasen voll kompatibel und zeichnet sich durch eine hohe und druckunabhängige Regelgenauigkeit und -geschwindigkeit aus. Verfügbar sind alle gängigen elektronischen Schnittstellen von einer 9-poligen Analogen bis hin zur den neuesten EtherCat oder ProfiNet Interfaces. Das Gerät wurde in Deutschland entwickelt und wird zur Sicherstellung kürzester Lieferzeiten am Standort von MKS Instruments in München gefertigt.
Das GS1 setzt sich aus mehreren Massenflussreglern MF1 und den für eine vollständige Gasflusssteuerung und -mischung notwendigen Gaswegen, Ventilen und Filtern zusammen. Auch dieses System wird in Deutschland montiert und vollständig geprüft.

Cirrus 2 Benchtop Atmospheric RGA System

Erstmals auf der analytica vorgestellt wird ebenfalls das Quadrupol-Massenspektrometer Cirrus. Dieses Gerät unterstützt Anwender bei der Gasanalyse chemischer Elemente oder Verbindungen, indem es die Konzentration einzelner Gase misst. Dabei kann es Spuren von Gasen auch bei sehr geringem Vorkommen und unter atmosphärischen Bedingungen mit einer zeitlichen Auflösung von weniger als 1 Sekunde nachweisen. Hervorzuheben ist hier das vollständig beheizte System zur Vermeidung von Auskondensation und Memory-Effekten. Das kompakt gebaute Gerät ist computergesteuert und zeichnet sich durch seine intuitive Benutzeroberfläche aus, durch die es unkompliziert angewendet werden kann. Auch die Integration in bestehende Anlagen ist problemlos möglich, wie es z.B. bei TGAs, Mikroreaktoren oder in der Brennstoffzellen-Forschung notwendig ist.

MultiGas 2030 FTIR

Das Gerät MultiGas 2030 FTIR ist das Herzstück des Systems MGS300. MultiGas 2030 wird bereits in einer Vielzahl von Branchen, etwa der Automobilindustrie, der chemischen Produktion sowie im Bereich der Umweltmesstechnik angewendet (TÜV zertifiziert). Das stabile Produkt ist einfach in der Handhabung und erfordert keinerlei Kalibrierungs - oder Quantifizierungsaufwand von Seiten der Nutzer. Seine hohe Nachweisgrenze bis in den Bereich weniger PPM erlaubt die äußerst präzise Analyse komplexer Gasgemische. Das Gerät ist zudem mit Samplingraten von 1 Hz und 5 Hz High-Speed-FTIR verfügbar und arbeitet bei Temperaturen von bis zu 200°C.
Mithilfe des CEM (Combustion Emission Monitoring) Systems MGS300 kann die Abgasqualität von Industrieanlagen kontinuierlich überwacht werden. Das MGS300 wurde gemäß QAL1 sowie MCERT zertifiziert. Zudem ist das MultiGas 2030 FTIR sehr wartungsarm und muss gemäß dem QAL1 Zertifikat nur alle sechs Monate überprüft werden. Geringe Konzentrationen des Gases HF können trotz Wasserfeuchte erfasst werden, was das Gerät einzigartig in diesem Umfeld macht.

"Wir freuen uns, Kunden und Interessierten auf der analytica das breite Anwendungsspektrum unserer Produkte und vor allem deren Fähigkeit sehr genau zu messen, vorzustellen. Wir sind in diesem Jahr zum ersten Mal auf der analytica vertreten und möchten unser Know how gerne für die oftmals sehr komplexen Anwendungen im Bereich der industriellen Analyse bereitstellen", sagt Christian Ossmann, Vertriebsleiter Kontinentaleuropa bei der MKS Instruments Deutschland GmbH.
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